חיישני לחץ משמשים למדידת לחץ של נוזלים וגזים. הסוגים הנפוצים כוללים חיישני לחץ piezoresistive מסיליקון MEMS, חיישני לחץ תהודה סיליקון MEMS, חיישני לחץ קיבוליים קרמיים, חיישני לחץ קיבולי מתכת, חיישני לחץ סרטים דקים-מקרטעים וחיישני לחץ של מד מתח מתכת. תרחישי הפעולה שלהם משתנים בהתאם לעקרון העבודה.
חיישן לחץ פיזורסיסטי סיליקון MEMS:זהו הסוג הנפוץ ביותר של חיישן לחץ. טווח המדידה העיקרי שלו מכסה 15 kPa עד 100 MPa, עם דיוק טיפוסי הנעים בין 0.05% FS ל-3% FS. טווח טמפרטורת ההפעלה הוא בדרך כלל -55 מעלות עד 180 מעלות. מכיוון שהוא תואם לתהליכי ייצור של מוליכים למחצה-בקנה מידה גדול, הוא לא יקר. למדידת נוזלים, נדרשת אריזת בידוד מלאה בשמן.
חיישן לחץ תהודה מסיליקון MEMS: חיישן זה משתמש בעיצוב גאוני הממיר לחץ לשינוי בתדר התהודה של מיקרו-קרן. מכיוון שתדירות הקרן תלויה רק במבנה ובטמפרטורה שלה, ונהנית מהשפעות סינון, חיישן זה משיג דיוק פלט גבוה של עד 0.01% FS. טווח מדידת הלחץ העיקרי שלו מכסה 100 kPa עד 40 MPa, עם טווח טמפרטורות עבודה של -55 מעלות עד 85 מעלות. בשל ייצור מורכב ועלות גבוהה, הוא מתאים ליישומים הדורשים דיוק גבוה במיוחד, כגון עיבוד מוליכים למחצה ומדידת עומק האוקיינוס.
חיישן לחץ קיבולי קרמי:חומר קרמי מציע עמידות בפני שחיקה מצוינת, מה שהופך את החיישן הזה למתאים למדידת לחץ בתערובות חול ותמיסות. זה גם מספק עמידות טובה בפני קורוזיה, המאפשר מדידה של נוזלים קורוזיביים כמו חומצה גופרתית. בנוסף, חיישני לחץ מבוססי קרמיקה יכולים לעמוד בהקפאת מים-תכונה שאינה ניתנת להשגה עם חיישני MEMS.
חיישן לחץ קיבולי מתכת:חיישן זה משתמש בסרעפת מתכת כאלקטרודה נעה רגישה ללחץ, ויוצרת קבל עם אלקטרודה קבועה. כאשר לחץ פועל על הסרעפת, הקיבול בין האלקטרודות משתנה, ויוצר קשר לחץ-קיבול. דיאפרגמות מתכת יכולות להיות עשויות מחומרים עמידים בפני קורוזיה כגון Inconel, ויכולות למדוד לחצים נמוכים מאוד (0-1/10/100/1000 טור). כתוצאה מכך, יש לו יישומים נרחבים במדידת ואקום ומדידות גז מיוחדות בתעשיית המוליכים למחצה.
קרטעTסרט הין-חיישן לחץ ומד מתח מתכת חיישן לחץ:שני החיישנים כוללים חומר רגיש-לכוח המצופה על משטח מתכת גדול, מה שהופך את המוצר לחזק ועמיד. הם מתאימים לטווחי לחץ גבוה ויישומים הדורשים אמינות גבוהה, כגון מוצרים צהובים, מנועי דיזל ומכונות קידוח מנהרות. חיישנים אלה אינם קלים לייצור לחיישן לחץ מוחלט והם יכולים בדרך כלל לכסות טווחים מקסימליים של עד 200 MPa ומעלה. התמונה הראשונה שלמעלה מציגה ליבת חיישן סרט- דקה, ואילו התמונה השנייה מציגה ליבת מד מתח מתכת.
בחירת חיישן לחץ חייבת להתבסס על תנאי ההפעלה בפועל כדי למנף את ביצועיו במלואם. Mihui Technology מתמחה בחיישני לחץ המבוססים על עקרונות שונים, ומציעה יכולות תכנון, ייצור וייצור מלאות כדי לספק ללקוחות את הפתרונות המתאימים ביותר. מוזמן לפנות אלינו אם אתה מעוניין:מספר טלפון: +8618066965135; דוא"ל: mihuitec@gmail.com
