טכנולוגיית מדידת ואקום היא מרכיב קריטי במדע ובטכנולוגיה של ואקום, עם דרישות גוברת הן במגזר הביטחוני והן במגזר האזרחי. מדידה מדויקת של לחץ ואקום חשובה במיוחד. מדי ואקום נמצאים בשימוש נרחב בייצור תעשייתי, ציוד מוליכים למחצה, תעשייה גרעינית ותחומים אחרים. יצרני מדי ואקום בעלי שם עולמי כוללים את MKS Instruments ו-INFICON. ישנם שני סוגים נפוצים של מדי ואקום המבוססים על עקרונות הפעולה שלהם: האחד הוא מד ואקום קיבול מתכת, המיוצג על ידי הגישה הטכנית של MKS, והשני הוא מד ואקום קיבול קרמי, המיוצג על ידי הגישה הטכנית של INFICON. באופן כללי, מדי ואקום קיבולי מתכת מציעים ביצועים טובים יותר מדגמי קיבול קרמי, מה שהופך אותם לאימוץ נרחב יותר.
אלמנט החישה של מד ואקום קיבול מתכת מורכב ממבנה קיבולי שנוצר על ידי דיאפרגמה מתכתית בעובי של כ-40 מיקרומטר ואלקטרודה קרמית. כפי שמוצג באיורים שלמעלה, דיאפרגמת המתכת נמתחת בכוח מתח גדול לפני הריתוך, מה שיוצר מבנה המסוגל לעמוד בלחצי עומס יתר עד פי מאות מהטווח המדורג. כאשר לחץ ואקום מופעל על הסרעפת, הוא מתעוות, משנה את הקיבול בין אלקטרודת הסרעפת המתכתית לבין האלקטרודה הקרמית. על ידי מדידת שינוי קיבול זה וכיול אותו מול הפניות סטנדרטיות של לחץ ואקום, ניתן לקבוע את ערך הוואקום המוחלט. כדי לשפר את דיוק המדידה, מוצב גטר בתוך החלל.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd פיתחה באופן עצמאי את מד הוואקום VG750, והשיגה ביצועים דומים למוצרי MKS ו-INFICON. הוא מכסה טווח מדידה בין 1 טור ל-1000 טור ואומץ באופן נרחב ביישומי אצווה בתעשיות המוליכים למחצה והגרעין. מפרטי הביצועים שלו מפורטים בטבלה למטה. מתעניינים מוזמנים ליצור איתנו קשר לשימוש ניסיון.
למידע נוסף, אנא בקר באתר האינטרנט שלנו:mihuitec.com, או בדוק את דף המוצר: China VG750 Metal Capacitive Diaphragm Gauge Manufacturers Suppliers Factory - הצעת מחיר - Mihui Tech.
